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          日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
          
            
          
              
          訪問次數：1034
          
              
          更新日期：2024-03-24
          
              
          簡要描述：
          
              
          日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K
          用于等離子刻蝕和其他半導體應用的高容量熱電冷水機組
          
            
          
          
          
          
          
            
          日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
          
            
          
              
          
                
            
                  
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          冷卻方式水冷式儀器種類分體式
          
                            
                                  
                    
          
                
          日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K
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          • 我們專為半導體加工而設計的最高容量冷水機組
          • 3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力
          • ±0.05°C 溫度穩定性/重復性
          • 兩種泵選項，流量高達 10 gpm，壓力高達 100+ psig
          • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應
          • 比基于壓縮機的冷水機組節能高達 80%
          • 采用熱電技術，可靠性高，維護成本低
          • 模塊化設計，易于維護
          • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環境法規
          • 使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
          • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統
          • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
          • 等離子蝕刻、等離子灰分、計量、CMP 和其他工藝的解決方案
          規格
          工作范圍：
          -10°C 至 80°C
          環境溫度：
          10°C 至 40°C 無冷凝
          穩定性/可重復性：
          恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環境溫度時）
          制冷量*：
          尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水）
          冷卻液/工藝流體：
          針對氟惰性/高登或HFE流體進行設置
          提供可選的乙二醇/水配置
          工藝流體接頭：
          3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
          泵：
          磁耦合渦輪機（高功率或高功率）
          流量：
          高達 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
          壓力可調（10 至 100 psig）
          油箱容積：
          10 升（2.6 加侖），帶 2 個液位傳感器
          設施用水：
          25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環設施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
          設施水配件：
          3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
          N2/CDA（必需）：
          500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
          30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
          接液材料：
          工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設施
          ：密封硬質陽極氧化鋁
          和不銹鋼
          尺寸（寬 x 深 x 高）：
          22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
          重量：
          ~300 磅（136 千克）干
          電源輸入：
          200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
          斷路器：
          20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI
          遠程EMO：
          外部干接點
          通信：
          泛林， 應用材料公司， RS232， 其他
          警報：
          溫度、液位、系統或組件
          故障（顯示、干接點和機器接口）
          標準：
          半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
          保證：
          2 年


          
              
          



          

          
	
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