ulvac電離真空計故障排除

發布日期：2023-05-10      瀏覽次數：1507

ulvac電離真空計故障排除




1. 由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘余氣體的主要成分不是氮氣，它將顯示與實際壓力不同的值。

2. 在測量含有氧氣和水蒸氣的氣體時，燈絲會發生嚴重的反應和劣化。
   必須使用較低的發射電流來減少磨損，或者在表面上使用三重涂層的燈絲。

3. 當測量低于 10-4Pa 的壓力時，必須對測量元件本身進行脫氣。
   當開始脫氣時，由于大量排放的氣體，壓力增加，相反，它可能會污染測量設備。 確保在 10-4Pa 或更低的范圍內脫氣。

4. 如果產品在高壓下連續使用（三極管類型：10-1Pa或更高），燈絲會嚴重磨損，無法獲得恒定的發射電流。

故障清單

1.測量裝置的燈絲不亮

2. 測量裝置的燈絲發出異常光（比平時更亮）
3. 燈絲點亮但不顯示壓力 

4. 燈絲亮了一會兒，但很快就消失了

5.讀取值搖擺不定

6.指示值與預期壓力明顯不同
7.無設定點信號輸出

1.測量裝置的燈絲不亮。

原因	怎么辦
斷絲	更換測量儀器
斷開測量儀電纜	維修、更換測量儀電纜
由于高壓	使用皮拉尼真空計檢查壓力
燈絲選擇開關配置錯誤	選擇合適的燈絲

2.測量裝置的燈絲發出異常光（比平時更亮）

原因	怎么辦
斷開測量儀電纜	維修、更換測量儀電纜
控制器故障	請求維修
測量裝置劣化	更換測量儀器

3. 燈絲點亮但不顯示壓力

原因	怎么辦
斷開測量儀電纜	維修、更換測量儀電纜
控制器故障	請求維修

4. 燈絲亮了一會兒，但隨后迅速熄滅

原因	怎么辦
保護電路工作是因為被測壓力很高	使用皮拉尼真空計檢查壓力
控制器故障	請求維修

5. 讀數值波動

原因	怎么辦
連接測量設備的連接處有真空泄漏	更換測量元件或改善連接處的真空泄漏
測量設備上的污垢	更換測量儀器
測量電纜正在振動	如果測量裝置電纜不斷振動，則測量單元電纜內部的摩擦力可能會導致指示值交錯，應重新考慮電纜安裝方法。

6.讀數值與預期壓力明顯不同

原因	怎么辦
發生漏電流	由于測量器上的污垢，測量設備電纜絕緣不良而更換
?靈敏度系數設置不同 ?被測氣體不是氮氣或空氣。	檢查手冊并正確設置
壓力真的和預期的不一樣	通過其他真空計確認

7. 無設定點信號輸出

原因	怎么辦
更換控制器內繼電器	繼電器故障 → 請求維修
發射電流未正常。	當發射變為NG時，設定值信號的輸出也被取消。 →更換測量元件

停止發射電流的原因和對策

原因	怎么辦
高壓（超過10-1帕），	檢查排氣系統
斷絲	更換測量儀器
長絲磨損	更換測量儀器
測量設備內部的污垢	更換測量儀器
測量設備電纜接觸不良或斷開	重新連接或更換測量儀電纜
控制器中電源電路故障	請求維修