vaclab霧化顆粒非蒸發吸氣劑AG-NEG泵介紹

發布日期：2024-06-21      瀏覽次數：988

vaclab霧化顆粒非蒸發吸氣劑AG-NEG泵介紹

由于NEG粉末是采用非接觸霧化方法制造的，因此它是真正的球形/高純度。由于僅將粗顆粒粉末放入細絲網容器中并在不凝固的情況下進行操作，因此抽速高、穩定且無粉塵。






AG-NEG泵的特點



■粉末顆粒形狀為的球形
■無塵
■低自釋氣（XHV用）
■高CO抽速
■ZrVFe三元合金粉末
■通過圓盤數量調節抽速（100至500 L/s） ■
通過延長盤間距離分配泵*2
■護套加熱器和熱電偶可自由裝卸（大氣側）
■自由安裝方向
■無振動、無帶電粒子、無電力（運行時）

AG-NEG泵主要規格

物品	ICF70系列
磁盤大小	Φ30 ×高4毫米
1 張光盤中填充的 NEG 量	5.5克
1盤抽速	H 2 =18，CO=20，N 2 =7L/s
抽速 (H 2 )	100～500L/s
加熱管	?" 鉻鎳鐵合金或 SUS316
激活條件	450℃×30分鐘
兼容法蘭	ICF070 (SUS316L)
泵總高度	100-300毫米
重量	450～600克


*1 加熱器/TC 可延長至 4 m。

什么是AG-NEG泵？

■霧化顆粒非蒸發吸氣劑（AG-NEG）泵是一種新形式的NEG粉末，采用新技術非接觸霧化方法制造，無需壓縮和固化粉末即可作為粉末（顆粒）使用。非蒸發吸氣劑 (NEG) 泵。NEG 粉末是的球形，具有極其穩定的表面，可實現高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑穩定，因此再抽真空時從表面層釋放的自體氣體極少，非常適合UHV/XHV發電。由于我們使用顆粒狀較大的NEG粉末，粒徑為100~200μm，因此可以薄薄地密封在襯有細絲網的圓盤形傳熱容器中，無需擔心NEG粉末的散射。此外，NEG粉末是通過中央加熱管（常壓側）的傳導加熱來活化的，因此活化過程中散發的輻射熱也很少。



■與傳統NEG泵的差異
為了使用NEG合金作為吸氣泵，需要增加氣體分子的吸附表面積，并且將NEG金屬粉化是必要的。傳統NEG泵中使用的NEG粉末是通過以下方法生產的：機械粉碎錠，收集粉末，然后（1）使用共晶工藝將其薄薄地附著到含Ni的金屬帶上，或（2）少量生產等方法。添加碳并壓制成丸狀，(3)混合鋯金屬粉末，真空燒結。由于這個原因，粉末的形狀是隨機的，并且有很多突起（這就是它能夠固化的原因），并且粒度分布很寬，從幾μm到幾百μm，使得NEG粉塵不可避免地使用時會剝落。另外，由于粉末經過一次粉碎，然后再次固化，導致粉末的實際表面積減少，這也造成NEG成本的增加。
另一方面，采用霧化法生產的NEG粉末粒徑分散度小，且呈球形，因此其作為NEG的穩定性大大提高。另一方面，顆粒之間很難結合，因此不可能構造出像傳統粉末一樣壓縮和固化的泵。我們改變思路，不再將NEG粉末固化，而是將其放入網孔小于粉末粒徑的絲網容器中，以防止粉末飛散。因此，我們成功開發了一種穩定、低成本、無塵的 NEG 泵，每克 NEG 粉末具有很高的抽速。

■AG-NEGポンプの性能は、下図に示した様な評価裝置で調べることができます。H2はNEGのバルク中に拡散するので、排気を続けても排気速度の低下は殆ど起こりませんが、COやN2は排気が進むとNEGの表面を覆い、排気速度が落ちてきます（再活性で初期値に戻る）。このためNEGの性能を表す排気速度S のグラフは、橫軸にどれだけガスを吸著したかを示す排気積算値Qt (m3?Pa)を取り、縦軸に排気速度S(L/s)を取るのが慣例になってます。
しかし、UHV/XHV領域では、COやN2による劣化は殆ど進みませんので、橫軸を通常圧(Pa)で表示した方が特性解釈がし易いので、弊社では通常圧で表示するようにしてます。ただ、S1=C[(P2-P2u)/(P1-P1u) -1] , P1u, P2u：達到的真空，人們常常錯誤地認為用NEG泵可以達到10 -11 Pa或更低的真空，因此不減去所達到的真空的有效抽速的公式為S 2 = C ( P 2 / P還包括1-1 ) 中獲得的曲線，并用作可通過 NEG 實現的真空的指南。下圖所示的AG-NEG的抽速是5個圓盤的特性，但即使增加圓盤的數量，也能得到近似正比的抽
速曲線。